名称 | 椭圆偏振光谱仪(Spectroscopic Ellipsometer) |
型号 | J.A.Woollam M-2000D |
功能 | 测量薄膜厚度和折光指数 光谱范围为190～1700nm，分辨率3.0nm；入射角可在45～90°范围内连续自动可调；光斑直径2～5mm，发散度0.5°。2.测量速度快，可以实现多波长同时检测及实时在线跟踪。3.具有样品加热台、液体池、光斑聚焦等附件。可变温和在液态下测量。 椭偏仪首先测量偏振光经样品表面反射后偏振态的变化(Ψ和Δ)，然后建立模型拟合数据，得到结果。可用来探测材料的光学常数、薄膜厚度以及材料微结构等特性，测量对样品无破坏性。可测的样品包括大块材料、薄膜以及在平面基底上生长或沉积的多层结构。其主要功能包括：测量材料的光学常数，多层膜厚度，材料梯度，表面与界面粗糙度，结晶度，合金组分比例，材料的各向异性等等。 |
管理人 | 钟子龙 高2-319 |
